合景净化工程公司半导体干净室扶植空调理制系
发布时间:
2025-11-02 06:11
作者:
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半导体干净室做为高精度制制,此中空调系统是保障出产工艺的焦点根本设备,需实现温湿度细密节制、干净度不变维持、压差切确调理及能耗无效管控等多沉方针。系统设想应遵照《电子工业干净厂房设想规范》(GB 50472)和SEMI尺度,同时满脚半导体工艺设备的特殊需求。
干净车间内环节设备和系统采用冗余设想,确保系统靠得住性。及时监测空调系统运转形态,及时发觉和处置毛病。设想时考虑设备和改换的便利性,削减停机时间。
半导体干净室乐音节制方面可采用低噪声设备和消声办法,确保干净室内噪声程度合适要求。采用减振办法,削减设备振动对出产工艺的影响。
应采用高效过滤器(HEPA)和超高效过滤器(ULPA),确保空气干净度达到ISO 1-4级。按照干净度品级,换气次数凡是正在20-60次/小时。采用垂曲单向流或程度单向流,削减涡流和二次污染。降低能耗。采用变频器节制风机和水泵,按照现实需求调整运转频次。
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干净室温度凡是连结正在20-24℃,以确保设备和材料的不变性。湿度维持正在40-60%RH,防止静电发生和材料受潮。温度波动需小于±0。5℃。
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